伟德体育2）分辨率与精确度紧密相关，提高仪器的分辨率能提高测量的精确度。但有时又是完全独立不相关的。

　　3）仪器的分辨率低，一定达不到高精度；但是仪器的分辨率高，也不一定达到高精度；只有相应的分辨率（通常这个分辨率应取仪器精度的1/3～1/10，视仪器精度高低而定）才能达到要求的精度。

　　45.基座与支承件的结构比较复杂，在浇铸时由于各处冷却速度不均，很容易产生内应力。这种内应力是造成零件尺寸长期不稳定的主要原因。

　　48.x-y工作台的形式：按驱动方式来划分大体有两种，一种是驱动电机与x向（或y向）工作台联成一体；另一种是电机不与工作台联成一体，而是装在机座上。

　　55.导轨运动的不平稳性主要表现在低速运动时出现速度不均匀，即所谓爬行现象；通常是在电机接受低速运转指令作匀速旋转时，带动丝杠也随着作等速转动，而此时工作台却出现一快一慢或一跳一停的爬行现象。

　　56.造成爬行的主要原因是导轨间静、动摩擦系数的差值较大，动摩擦系数随速度变化和系统刚度差。

　　26.基面合一原则：应该使得定位基面尽量与使用基面和加工基面一致，可以减少基面不一致带来的误差

　　27.最短传动链原则：精密设备的总体布局，尽量采用最短传动链原则。精密机械与仪器的传动链包括主传动链和辅助传动链，其中主传动链对该设备的总体精度和其他性能起主要作用。因此，在总体布局时要使主传动链愈短愈好，这样它的结构就愈简单，性能就愈稳定可靠，精度就愈容易保证。在需要为某些用途而增加机构时，宜加在辅助传动链上，主传动链仍为最短。另外还需要考虑机构简单、直接、对称、稳定及加工方便等。

　　④对振动的衰减性差，仅为油的1/1000，如果设计不当，可能出现自激振荡等不稳定问题。

　　⑤由于气模厚度很小，安装不准确，产生变形影响精度。使用条件要求苛刻，费用高。

　　62.机械零件工作时广泛存在着摩擦，它会引起零件表面磨损、温度升高、能量耗损等。润滑是降低摩擦和减小磨损的最有效、最常用的方法。

　　36.在仪器的各种误差源中，制造误差数值最大，运行误差次之。但是在仪器测量误差中运行误差将是主要的。

　　37.减小或消除内应力的一般方法是充分地进行时效处理，切除表面应力层，用氮化代替淬火，锻造代替轧制等。

　　38.一个误差源仅使仪器产生一定的误差；仪器误差是其误差源的线性函数，与其他误差源无关，这就是误差独立作用原理。因此，可以逐个计算误差源所造成的仪器误差。

　　1）滑动摩擦导轨。滑动导轨是由支承件和运动件直接接触的导轨。优点是结构简单、制造容易、接触刚度大。缺点是摩擦阻力大，磨损快、动静摩擦系数差别大，易产生爬行。

　　2）滚动摩擦导轨。滚动摩擦导轨是在两导轨面之间放入滚珠、滚柱、滚针等滚动体，使导轨运动处于滚动摩擦状态。由于滚动摩擦阻力小，使工作台移动灵敏，低速运送时不易产生爬行。工作台起动和运行消耗的功率小，滚动导轨磨损小，保持精度持久性好。

　　1.仪器的重要功能是：要以某种预先知道的精度，完成某项工作。该工作能以某种方式满足一种功能的需要。也就是说：仪器是以约定的精度完成某项功能的若干机械、电路、光路、电磁路等部件的一种系统。

　　2.机械表是一种常见的精密仪器，在机械表里面有几十个微小精密零件。这是最常见、最典型的精密机械。

　　3.仪器特点：仪器仪表是信息的源头，是获取信息、进行信息处理，从而完成某种科学任务的系统。仪器特点：高精度，高速度，涵盖学科交叉。

　　63.摩擦的定义：两个解除表面作相对运动或有相对运动趋势时，将会有阻止其产生相对运动的现象发生，这种现象称为摩擦。

　　1）力（功率）传动。主要用来传递动力，改变力或力矩的大小。对它的要求主要是应保证足够的强度。

　　①首先在结构上采取措施，从设计及工艺上提高导轨的运动精度，减小因为导轨运动不直线性带来的倾角。从结构布置上，尽量使得读数线（线纹尺、光栅尺、激光等）和被测量的测量线靠近得近些，减少两者之间的相隔距离。

　　Epenstein原理是：利用各种机构，使得可能产生的误差相互抵消或削弱，或故意引入新的误差，以减小某些误差的影响。

　　22.半运动学设计原则：纯粹的点接触是不可能，因此在实际当中实际上是面接触。若将约束处适当地扩大为一个有限面积，运动学原则不变，称为半运动学设计。

　　39.由于误差的种类不同，综合的方法也各异。对于随机误差，采用方差运算规则合成，对已定系统误差的综合采用代数和法。对属于系统误差性质的但对其大小或方向还不确切掌握的所谓未定系统误差，则采用绝对和法与方和根法。

　　40.阿贝误差：受结构限制，干涉仪的测量线与工作物的照相点间，在水平面内相距65mm，在高度方向相差55mm。因此当工作台在移动中导向运动有偏差时，就会带来测量误差。

　　7.仪器的组成：如：光学精密机械定位，传感器，光电转换，信号处理，电机驱动，计算机控制。

　　④使用环境：由于使用经过过滤的压缩空气（去尘、去水、去油、去湿），故导轨内不会浸入灰尘和液体。另外由于不使用润滑油，故不会污染环境。气浮导轨可用于很宽广的湿度范围。

　　①承载能力低，因气模的压力，即使在静压情况下，也只有0.3MPa左右（气源压力为0.5MPa左右）。

　　29.工作原理的设计是总体设计的关键。一般的工作原理有：误差平均原理、位移量同步比较原理、误差补偿原理等

　　30.精度（不确定度）是精密仪器及精密机械设备的一项重要技术指标。精度设计是仪器设计成败的重要关键。

　　49.x-y工作台的组成：x-y工作台系统基本上是由工作台滑板、直线移动导轨、传动机构、驱动电机、控制装置和位移检测器等组成。

　　50.在设计x-y工作台时，应该把机械部分与控制部分视为一体进行考虑，以便能够从总体上设计出较为经济地满足使用要求的工作台，其中传动系统的设计尤为重要。

　　51.对导轨的基本要求是：导向精度高、刚度大、耐磨性好、精度保持性好、运动灵活而平稳、结构简单、工艺性好。

　　③摩擦与振动小：由于导轨之间不接触故没有摩擦，气体粘性极小，可以认为是无摩擦，故使用寿命长。没有振动和爬行现象，可以进行微细的送进和精确地定位。

　　52.导向精度是导轨副的重要精度指标；所谓导向精度就是指动导轨运动轨迹的精确度。

　　53.直线个自由度，只有一个自由度不受限制，以便使运动件能沿着一个方向运动。

　　1）降低导轨面的比压2）良好的防护与润滑3）正确选择导轨的材料及热处理工艺4）合理选择加工方法

　　41.目前，对于工作台的定位精度或传动精度一般要求能达到0.1μm,主轴回转精度达到0.01μm，分度精度为0.2″左右。

　　42.为提高抗振性常从以下3方面着手进行改进：①提高静刚度；②增加阻尼；③减轻重量；④隔振措施。

　　3)超高精度：直线 um，主轴回转精度小于0.1 um，圆分度精度小于0.1’’.

　　14.一般可靠性用平均故障间隔时间（MTBF）或平均故障率：单位时间内的故障次数＝1/MTBF来表示。

　　32.灵敏度：输出值与输入值的变化量之比。即灵敏度=输出值的增输入值的增量；

　　对于测量仪器来说，灵敏度等于被观测的示值增量（dl）与测量的增量（dG）之比。可以表示为K=dl/dG。

　　33.分辨率：分辨率是仪器设备的一个重要技术指标，是仪器设备能感受、识别或探测的输入量（或能产生，能响应的输出量）的最小值。如光学系统分辨率是指光学系统可分清的两物点间的最小间距。

　　运动学设计原则：根据物体运动的方式（自由度要求）按照上述关系确定施加的约束数。对约束的安排为：1个平面最多3个约束，1条直线个约束。约束为点接触。并且在同一平面（直线）上的约束点应该尽量离开远些，约束面垂直与约束点。

　　11.精密机械与仪器的设计程序一般过程为：需求分析、初步设计、详细设计、原理样机、实际仪器定型、仪器优化、系列化型号。

　　12.精密机械与仪器的发展趋势：1）.发展科学仪器已经成为国家的一项战略措施；

　　1）中等精度：1um～10um主轴回转精度1 um～10 um圆分度精度1’’~10’’。

　　2）承载系统II——包括x－y精密工作台、微动工作台及其驱动系统构成，实现装配系统沿着x和y方向的移动，以及x、y、z的转动。

　　3）夹持系统III——由微夹持器及其驱动系统构成，对微小器件进行加紧和释放。

　　9.基准部件：基准部件是系统中最重要最核心的部分。基准部件的选择是仪器设计的基础和前提。

　　1）阿贝（Abbe）原则：古典的阿贝原则是：要使量仪给出准备的测量结果，必须将被测部件布置在基准原件沿运动方向的延长线上。也就是共线原则。

　　③直接补偿。在光栅、激光等信号转换原理的数字计量仪器中，可采用直接补偿。补偿原理是：由自动校准仪直接得到的与导轨不直线性成比例的输出电压，通过128进位计数器及比较线路，用干涉条文的脉冲当量数相平衡，并将此脉冲当量数加到计数器计算机进行误差补偿，在整个测量过程中，补偿是自动连续进行的。

　　④布莱恩原则：位移测量系统工作点的路程应和被测位移作用点位于同一直线上，不可能时，必须使得传送位移的导轨没有角运动，或者必须算出角运动产生的位移，然后用补偿机构给予补偿。第一条为广义Abbe原则。

　　重复精度：重复精度是指在同一测量方法和测试条件（仪器、设备、测试者、环境条件）下，在一个不太长的时间间隔内，连续多次量测同一物理参数所得到的数据分散程度。重复精度反映一台设备固有误差的精密度。

　　复现精度：复现精度又称再现精度。它是用不同的测量方法，不同的测试者，不同的测量仪器，在不同的实验室内，在较长的时间间隔对同一物理参数作多次测量，所得数据相一致的接近程度。对于某一物理参数的测量结果，若重复精度和复现精度都很高，则表示该设备精度稳定，测量结果准确可信。否则，需要找出不一致的原因。复现精度一般应低于重复精度，因为测定复现精度时所包括的随机变化因素多于测定重复精度。